Magnetron sputtering 자석 스퍼터링(MS)은 증착 기술 중 하나로, 증착될 재료 위에 생성된 플라즈마가 이용됩니다. 이온화된 플라즈마의 원자들이 표적이라 불리는 물질의 표면을 충돌하여 이를 침식시키고, 방출된 물질의 원자들이 진공 환경을 통해 기판 위에 얇은 막을 형성합니다. 자석 스퍼터 증착 기술은 원료 물질을 녹이지 않아도 되기 때문에 다른 물리적 기증증 증착 (PVD) 기술에 비해 여러 가지 장점을 제공합니다. 첫째로, 자석 스퍼터링을 통해 거의 모든 고체 물질을 증착할 수 있으며 이는 그들의 녹는점과 상관없이 가능합니다. 둘째로, 다양한 합금, 화합물 및 다성분 복합체의 막을 증착할 수 있습니다. 이는 여러 소재를 동시에 사용할 수 있으며 반응성 가스를 기존 기체에 추가할 수 있기..
